Elektrostatisches Futter und Verfahren zur Herstellung davon

EP3103136 Art B1 23. Juni 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3103136
Aktenzeichen
EP15705762
Anmeldetag
6. Februar 2015
Veröffentlichung
23. Juni 2021
Erteilung
23. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H02N13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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