Elektrostatisches Futter und Verfahren zur Herstellung davon
EP3103136
Art B1
23. Juni 2021
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3103136
- Aktenzeichen
- EP15705762
- Anmeldetag
- 6. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2021
- Erteilung
- 23. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H02N13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Vertreten von
Keen, Celia Mary
London, Großbritannien
369
Patente gesamt
24
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar