Elektrostatisches Futter und Verfahren zur Herstellung davon
EP3103136
Art B1
23. Juni 2021
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3103136
- Aktenzeichen
- EP15705762
- Anmeldetag
- 6. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2021
- Erteilung
- 23. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H02N13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.105 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keen, Celia Mary
London, Großbritannien
369
Patente gesamt
24
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar