Elektrostatisch Erhitzender Substrathalter mit Polarisierung bei Hoher Spannung

EP3103137 Art B1 21. Juli 2021

Anmelder: Ion Beam Services 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3103137
Aktenzeichen
EP15713195
Anmeldetag
4. Februar 2015
Veröffentlichung
21. Juli 2021
Erteilung
21. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ion Beam Services
Land
🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Renaud-Goud, Thierry Aix-en-Provence, Frankreich
164
Patente gesamt
30
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Luft- & Raumfahrttechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Verfahrens- & Trenntechnik
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