Kultivierungsvorrichtung

EP3103860 Art A1 14. Dezember 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3103860
Aktenzeichen: EP15746071
Anmeldetag: 6. Februar 2015
Veröffentlichung: 14. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C12M1/00C12M1/02C12M1/04C12M3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Pharma & Biotechnologie

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