Belichtungsverfahren, Substrattisch, Belichtungsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3104396 Art B1 21. März 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3104396
Aktenzeichen: EP16155448
Anmeldetag: 11. Juni 2004
Veröffentlichung: 21. März 2018
Erteilung: 21. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03B27/58H01L21/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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