Modell zur Berechnung einer Stochastischen Variation bei einem Arbiträren Muster
EP3105637
Art A1
21. Dezember 2016
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3105637
- Aktenzeichen
- EP15702295
- Anmeldetag
- 4. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
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