Selektives, Elektrochemisches Ätzen eines Halbleiters

EP3105777 Art A1 21. Dezember 2016

Anmelder: Rensselaer Polytechnic Institute 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3105777
Aktenzeichen: EP15745915
Anmeldetag: 10. Februar 2015
Veröffentlichung: 21. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Rensselaer Polytechnic Institute
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Rensselaer Polytechnic Institute

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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