Verwendung einer Filmbildenden Zusammensetzung mit Fluorhaltigem Tensid als eine Lackunterschichtfolie oder Lacküberzugfolie in einem Lithographischen Prozess

EP3106921 Art A1 21. Dezember 2016

Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3106921
Aktenzeichen
EP15749601
Anmeldetag
30. Januar 2015
Veröffentlichung
21. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11C08L33/04C08L101/00C08L101/04C08F220/14C08L33/14C09D133/12G03F7/09G03F7/075H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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