Verwendung einer Filmbildenden Zusammensetzung mit Fluorhaltigem Tensid als eine Lackunterschichtfolie oder Lacküberzugfolie in einem Lithographischen Prozess
EP3106921
Art A1
21. Dezember 2016
Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3106921
- Aktenzeichen
- EP15749601
- Anmeldetag
- 30. Januar 2015
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/11C08L33/04C08L101/00C08L101/04C08F220/14C08L33/14C09D133/12G03F7/09G03F7/075H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissan Chemical Corporation
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München