Vorrichtung und Verfahren für Dünnschichtverarbeitungsanwendungen

EP3108031 Art A1 28. Dezember 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3108031
Aktenzeichen: EP14708818
Anmeldetag: 21. Februar 2014
Veröffentlichung: 28. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von