Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis

EP3108523 Art B1 29. August 2018

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, IMEC vzw 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3108523
Aktenzeichen: EP15708901
Anmeldetag: 20. Februar 2015
Veröffentlichung: 29. August 2018
Erteilung: 29. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01M4/04H01M4/66H01M4/70H01M10/04H01M6/40H01M10/052H01M10/0562H01M10/0585H01G9/20H01L31/04// H01L31/0224

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
IMEC vzw
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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