Waferverarbeitende Anordnung zum Temporären Bonden, Waferverarbeitungslaminat und Dünnwaferherstellungsverfahren

EP3112434 Art B1 13. Dezember 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3112434
Aktenzeichen
EP16173969
Anmeldetag
10. Juni 2016
Veröffentlichung
13. Dezember 2017
Erteilung
13. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C09J183/04H01L21/302H01L21/683B32B7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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