Mehrschichtiger Reflektierender Spiegel, Verfahren zur Herstellung davon und Belichtungsvorrichtung

EP3113212 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3113212
Aktenzeichen: EP15752173
Anmeldetag: 24. Februar 2015
Veröffentlichung: 18. Dezember 2019
Erteilung: 18. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B5/08G02B5/10G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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