Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion eines Halbleiterbauelements

EP3113215 Art A1 4. Januar 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3113215
Aktenzeichen: EP16175210
Anmeldetag: 20. Juni 2016
Veröffentlichung: 4. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01N21/00H01L23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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