Radikalquelle und Epitaktische Molekularstrahlvorrichtung

EP3113583 Art B1 12. August 2020

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, NU-Rei Co., Ltd., Nu System Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3113583
Aktenzeichen: EP15752360
Anmeldetag: 23. Februar 2015
Veröffentlichung: 12. August 2020
Erteilung: 12. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46C23C14/24H01L21/203H01L21/304H05H1/30H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
NU-Rei Co., Ltd.
Nu System Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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