Verfahren zur Herstellung von Querschnitten durch Ionenstrahlfräsen

EP3116017 Art B1 31. Januar 2018

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3116017
Aktenzeichen
EP16178177
Anmeldetag
6. Juli 2016
Veröffentlichung
31. Januar 2018
Erteilung
31. Januar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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