Intelligente Kammer und Komponenten der Intelligenten Kammer

EP3117449 Art B1 12. August 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3117449
Aktenzeichen: EP15762097
Anmeldetag: 16. Februar 2015
Veröffentlichung: 12. August 2020
Erteilung: 12. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/203H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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