Verfahren zur Herstellung einer Mehrschichtigen Folie und Mehrschichtige Folie

EP3118347 Art A1 18. Januar 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3118347
Aktenzeichen
EP15761219
Anmeldetag
3. März 2015
Veröffentlichung
18. Januar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/08C23C14/18C23C14/35H01L21/316H01L41/187H01L41/316H01L41/319H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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