Strahlenwandelndes Element, Optische Beleuchtungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP3118890 Art A3 15. Februar 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3118890
Aktenzeichen: EP16167687
Anmeldetag: 2. November 2004
Veröffentlichung: 15. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G02B27/28G02B27/42G02B27/09G02B5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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