Hybride Frontanordnung einer Kryopumpe

EP3120021 Art B1 10. Mai 2023

Anmelder: Edwards Vacuum, LLC, Brooks Automation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3120021
Aktenzeichen
EP15764653
Anmeldetag
19. März 2015
Veröffentlichung
10. Mai 2023
Erteilung
10. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/08F04B53/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, LLC
Brooks Automation, Inc.
Land
🇺🇸 USA

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