Einweg-Flüssigchemikaliensensorsystem
EP3120132
Art A1
25. Januar 2017
Anmelder: Entegris, Inc., Entegris-Jetalon Solutions, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3120132
- Aktenzeichen
- EP15713612
- Anmeldetag
- 17. März 2015
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/03G01N21/41
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Entegris-Jetalon Solutions, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Betten & Resch
Betten & Resch · München