Einweg-Flüssigchemikaliensensorsystem

EP3120132 Art A1 25. Januar 2017

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris-Jetalon Solutions, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3120132
Aktenzeichen
EP15713612
Anmeldetag
17. März 2015
Veröffentlichung
25. Januar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/03G01N21/41
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entegris-Jetalon Solutions, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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