Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung und Meldung vom Ablauf eines Elements in einem Sensor für Gelösten Sauerstoff

EP3120136 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris-Jetalon Solutions, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3120136
Aktenzeichen
EP15715553
Anmeldetag
19. März 2015
Veröffentlichung
29. April 2020
Erteilung
29. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/64G01N21/77G01N21/85H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entegris-Jetalon Solutions, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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