Polierzusammensetzung, Polierverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Substrats

EP3121239 Art A1 25. Januar 2017

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3121239
Aktenzeichen: EP15764933
Anmeldetag: 9. März 2015
Veröffentlichung: 25. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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