Euv-Lichtquelle für eine Beleuchtungseinrichtung einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP3123246
Art B1
22. August 2018
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3123246
- Aktenzeichen
- EP15711062
- Anmeldetag
- 27. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 22. August 2018
- Erteilung
- 22. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G21K1/06H01S3/09H05H7/04H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte