Messvorrichtung zum Bestimmen eines Polarisationsparameters

EP3123247 Art B1 30. Dezember 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3123247
Aktenzeichen: EP15738586
Anmeldetag: 11. März 2015
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Erteilung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01J4/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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