Sputtertarget mit Al-Te-Cu-Zr-Legierung und Verfahren zur Herstellung davon
EP3124647
Art B1
29. August 2018
Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3124647
- Aktenzeichen
- EP15769207
- Anmeldetag
- 6. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 29. August 2018
- Erteilung
- 29. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C22C21/00C22C30/02H01L27/105H01L45/00H01L49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JX Nippon Mining & Metals Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JX Nippon Mining & Metals
JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.
1.069 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cornford, James Robert
München, Deutschland
174
Patente gesamt
29
Fachgebiete
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