Prägestempel für die Nanoprägelithographie
Anmelder: Giesecke+Devrient Currency Technology GmbH, Giesecke & Devrient GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3125042
- Aktenzeichen
- EP16001669
- Anmeldetag
- 28. Juli 2016
- Veröffentlichung
- 17. April 2024
- Erteilung
- 17. April 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00// B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Die Erfindung betrifft einen Prägestempel (10) für die gepulste Nanoprägelithographie, mit einem Heizelement (30) und einer auf dem Heizelement angeordneten Prägestruktur (20), die mit einem einzuprägenden Prägeprofil (22) versehen ist, wobei das Heizelement (30) eine elektrisch leitende Schicht (34) zum gepulsten Aufheizen (60) der Prägestruktur (20) aufweist. Erfindungsgemäß weist die der Prägestruktur (20) zugewandte Seite des Heizelements (30) eine elektrische Isolationsschicht (38) auf und die Prägestruktur (20) ist im Bereich der Isolationsschicht (38) lösbar mit dem Heizelement (30) verbunden.
Anmelder
- Firmen
- Giesecke+Devrient Currency Technology GmbH
Giesecke & Devrient GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
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