Vakuumverarbeitungssystem und Verfahren zur Montage eines Verarbeitungssystems

EP3126541 Art A1 8. Februar 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3126541
Aktenzeichen: EP14715572
Anmeldetag: 2. April 2014
Veröffentlichung: 8. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/52C23C14/56C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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