Sputtering-Target für Hochreines Kupfer oder eine Legierung mit Hochreinem Kupfer

EP3128039 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3128039
Aktenzeichen
EP16190070
Anmeldetag
24. September 2009
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Erteilung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01L21/28H01L21/285C22B9/20C23C14/56C22C9/00C23C14/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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