Unterstützungsvorrichtung und Inspektionsverfahren

EP3128331 Art A1 8. Februar 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3128331
Aktenzeichen: EP15773954
Anmeldetag: 31. März 2015
Veröffentlichung: 8. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01N35/02C12N15/09C12Q1/68G01N21/03G01N37/00B01L9/00B01L3/00G01N35/00G01N35/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Pharma & Biotechnologie Verfahrens- & Trenntechnik

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