Detektionselement, Verriegelungsdetektionsvorrichtung und Herstellungsverfahren für Detektionselement

EP3128743 Art B1 21. Mai 2025

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3128743
Aktenzeichen
EP15773067
Anmeldetag
31. März 2015
Veröffentlichung
21. Mai 2025
Erteilung
21. Mai 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G01S7/487G01S7/493G01S7/4863G01S7/4914G01S17/894H04N25/77
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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