Detektionselement, Verriegelungsdetektionsvorrichtung und Herstellungsverfahren für Detektionselement
EP3128743
Art B1
21. Mai 2025
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3128743
- Aktenzeichen
- EP15773067
- Anmeldetag
- 31. März 2015
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2025
- Erteilung
- 21. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01S7/487G01S7/493G01S7/4863G01S7/4914G01S17/894H04N25/77
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München