Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung, Röntgenvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Struktur

EP3128818 Art B1 22. April 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3128818
Aktenzeichen: EP14887665
Anmeldetag: 27. März 2014
Veröffentlichung: 22. April 2020
Erteilung: 22. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H05G1/10// H01J35/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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