Flüssigkeitsbehandlungssysteme und -Verfahren

EP3133636 Art B1 2. Januar 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3133636
Aktenzeichen: EP16183735
Anmeldetag: 8. Juni 2010
Veröffentlichung: 2. Januar 2019
Erteilung: 2. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/027H01L21/20H01L21/302H01L21/304B67D7/02B01F15/02B01F3/08

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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