Cmos-Mems Integration mit Metallsilizidbildung

EP3135632 Art B1 10. April 2019

Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3135632
Aktenzeichen
EP16185401
Anmeldetag
23. August 2016
Veröffentlichung
10. April 2019
Erteilung
10. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
InvenSense, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 InvenSense

InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.

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