Halbleiterelementreinigungsflüssigkeit und Reinigungsverfahren

EP3139402 Art B1 15. August 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3139402
Aktenzeichen
EP15786582
Anmeldetag
20. April 2015
Veröffentlichung
15. August 2018
Erteilung
15. August 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C11D11/00H01L21/304C11D7/06C11D7/10C11D7/12C11D7/32C11D7/50C11D3/39
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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