Fünfachsiges Optisches Untersuchungssystem
EP3140612
Art B1
1. April 2020
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3140612
- Aktenzeichen
- EP15790010
- Anmeldetag
- 6. Mai 2015
- Veröffentlichung
- 1. April 2020
- Erteilung
- 1. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/30G01N21/01G01N21/952G02B21/26G02B21/36G02B21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Fachgebiete
Vertreten von
Cassie, Matthew David
London, Großbritannien
56
Patente gesamt
20
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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HGF
HGF · München
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HGF Limited
HGF Limited · Den Haag