Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer Probe mit mehreren Geladenen Partikelstrahlen
EP3140848
Art B1
6. Juni 2018
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3140848
- Aktenzeichen
- EP15726384
- Anmeldetag
- 23. April 2015
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2018
- Erteilung
- 6. Juni 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Peters, Sebastian Martinus
Den Haag, Niederlande
299
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte