Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP3141630 Art B1 9. Mai 2018

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3141630
Aktenzeichen: EP16172411
Anmeldetag: 15. Februar 2013
Veröffentlichung: 9. Mai 2018
Erteilung: 9. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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