Lithografisches Filmbildungsmaterial, Zusammensetzung für Lithografische Filmbildung, Lithografischer Film, Strukturbildungsverfahren und Reinigungsverfahren

EP3141959 Art B1 30. Januar 2019

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3141959
Aktenzeichen: EP15788887
Anmeldetag: 8. Mai 2015
Veröffentlichung: 30. Januar 2019
Erteilung: 30. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/26H01L21/027C07D303/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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