Beleuchtungseinheit und Vorrichtung zur Lithografischen Belichtung

EP3141961 Art B1 17. Oktober 2018

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Friedrich-Schiller-Universität Jena 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3141961
Aktenzeichen: EP16184526
Anmeldetag: 17. August 2016
Veröffentlichung: 17. Oktober 2018
Erteilung: 17. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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