Vorrichtung zur Verarbeitung eines Materials auf einem Substrat und Verfahren zur Messung der Optischen Eigenschaften eines auf einem Substrat Verarbeiteten Materials

EP3143178 Art A1 22. März 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3143178
Aktenzeichen: EP14731914
Anmeldetag: 16. Mai 2014
Veröffentlichung: 22. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54G01B11/06C23C16/52C23C16/54G01N21/55G01N21/59G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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