Erhöhung der Seitlichen Auflösung von Organischer Dampfstrahlabscheidung mit einem Eingrenzenden Schutzfluss

EP3144988 Art B1 2. Mai 2018

Anmelder: The Trustees of Princeton University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3144988
Aktenzeichen: EP16194736
Anmeldetag: 22. Oktober 2004
Veröffentlichung: 2. Mai 2018
Erteilung: 2. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L51/00C23C14/04C23C14/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Trustees of Princeton University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Trustees of Princeton University

The Trustees of Princeton University ist die Trägerkörperschaft der Princeton University, einer privaten US-Universität. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Medizintechnik sowie organische Chemie und Pharma, ergänzt durch Mess- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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