Herstellung von Optoelektronischen Dünnschichtvorrichtungen mit Veränderter Oberfläche

EP3146571 Art B1 9. März 2022

Anmelder: Flisom AG, EMPA 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3146571
Aktenzeichen
EP15731688
Anmeldetag
21. Mai 2015
Veröffentlichung
9. März 2022
Erteilung
9. März 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/032H01L21/02H01L31/0749
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Flisom AG
EMPA
Land
🇨🇭 Schweiz

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