Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb eine Pumpe mit Zulauf- und Förder-Sensoren, Filtration- und Förder-Bestätigung, sowie Verringerter Filteransaugdruck

EP3149328 Art B1 20. März 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3149328
Aktenzeichen: EP15729984
Anmeldetag: 28. Mai 2015
Veröffentlichung: 20. März 2019
Erteilung: 20. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: F04B9/02F04B17/03F04B19/04F04B23/04F04B43/02F04B49/10F04B49/22F04B51/00F04B53/10F04B53/16F16H25/20F04B13/00F04B43/04F04B53/20H01L21/67

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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