Vorrichtung zur Verhinderung von Mechanischem Spiel bei Motorgetriebenen Komponenten in Präzisionssystemen und Verwendungen

EP3149329 Art B1 29. Januar 2020

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3149329
Aktenzeichen: EP15732082
Anmeldetag: 28. Mai 2015
Veröffentlichung: 29. Januar 2020
Erteilung: 29. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: F04B9/02F04B19/04F04B23/04F04B43/02F04B49/10F04B49/22F04B51/00F04B53/10F04B53/16H01L21/67F04B17/03F04B43/04F04B13/00F16H25/20F04B53/20

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

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