Musterungsverfahren mittels Selbstanordnung aus Blockcopolymeren

EP3149764 Art B1 13. Februar 2019

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3149764
Aktenzeichen
EP15732320
Anmeldetag
21. Mai 2015
Veröffentlichung
13. Februar 2019
Erteilung
13. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027H01L21/768H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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