Messvorrichtung und Messverfahren

EP3150993 Art B1 10. März 2021

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3150993
Aktenzeichen: EP15799564
Anmeldetag: 1. Mai 2015
Veröffentlichung: 10. März 2021
Erteilung: 10. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G01N15/14G01N1/28G01N1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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