Kalkulation der Spektraleigenschaften eines Gepulsten Lichtstrahls

EP3152624 Art A1 12. April 2017

Anmelder: Cymer, LLC, ASML Netherlands BV 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3152624
Aktenzeichen: EP15802551
Anmeldetag: 3. Juni 2015
Veröffentlichung: 12. April 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/14G01J3/26G01J3/28G01J3/02G03F7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
ASML Netherlands BV
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von