Formvermessungsvorrichtung

EP3156763 Art B1 6. Februar 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3156763
Aktenzeichen: EP14894726
Anmeldetag: 13. Juni 2014
Veröffentlichung: 6. Februar 2019
Erteilung: 6. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/25G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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