Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung Atomarer Schichten auf einem Substrat

EP3158106 Art B1 7. August 2019

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3158106
Aktenzeichen: EP15736667
Anmeldetag: 19. Juni 2015
Veröffentlichung: 7. August 2019
Erteilung: 7. August 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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