Chemikalien zum Tsv-/mems-Leistungsvorrichtungssätzen

EP3158579 Art A1 26. April 2017

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3158579
Aktenzeichen
EP15808907
Anmeldetag
17. Juni 2015
Veröffentlichung
26. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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