Mehrschichtfolie, Herstellungsverfahren dafür und Herstellungsvorrichtung dafür

EP3159159 Art A1 26. April 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3159159
Aktenzeichen
EP15810304
Anmeldetag
11. Juni 2015
Veröffentlichung
26. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B32B15/00B41J2/14C23C14/04H01L41/047H01L41/29H01L41/316C23C14/08C23C14/18C23C14/56C23C14/58C23C14/35
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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